立式 - cassette
(5)

主要用途
PTFE材質
可依客戶需求設計規劃。
適用於光罩

立式 - cassette
(4)

主要用途
PTFE材質
可依客戶需求設計規劃。
適用於光罩

金屬 Cassette

主要用途
可依客戶相對機台需求，變更Slot的設計。
此晶舟盒適用於高溫以及需要Robot對準取片位置之處。

立式 - cassette
(1)

主要用途
PFA材質 25slots
可依客戶需求設計規劃。
 

立式 - cassette
(2)

材質、尺寸可依客戶需求

設計規劃。

立式 - cassette
(3)

主要用途
PTFE材質
可依客戶需求設計規劃。
適用於光罩

W Type-cassette

材質、尺寸可依客戶需求

設計規劃。

花籃式 - cassette

材質、尺寸可依客戶需求

設計規劃。